单晶硅磨面倒圆专用磨床简介

Introduction to Monocrystalline Silicon Grinding and Chamfering Grinder

介绍了一种单晶硅专用磨床的基本布局,对加工单晶硅类零件机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对单晶硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的单晶硅磨面倒角磨床,可用于磨削单晶硅开方后的四平面和圆弧角,可以收到理想的效果。