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一种三维纳米定位台控制系统设计 被引量:1

A Nano-Positioning Stage Control System Design
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摘要 这篇文章描述了一种三维纳米定位台控制系统。本系统采用双处理器架构,将ARM在逻辑控制、人机交互的优势同FPGA硬件可编程、并行处理的优势互补,再搭载自行设计的高精度ADC电路及DAC电路,完成了对三维纳米定位台的高精度运动控制。 The system adopts dual-processor architecture,which combines the advantages of arm in logic control and human-computer interaction with the advantages of FPGA hardware programmability and parallel processing.Further,the self-designed high precision ADC circuit and DAC circuit are used to complete the high precision motion control of the three-dimensional nano positioning platform.
作者 何坚 夏宏 颜锦耀 范贤光 HE Jian;XIA Hong;YAN Jin-yao;FAN Xian-guang(School of Aerospace Engineering,Xiamen University,Xiamen Fujian 361102;Electronic and Information Engineering,Quanzhou University of Information Engineering,Quanzhou Fujian 362000)
出处 《数字技术与应用》 2019年第10期171-172,共2页 Digital Technology & Application
关键词 控制系统 纳米定位 ARM FPGA control system nano-positioning ARM FPGA
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参考文献2

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共引文献26

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引证文献1

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