期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
氯硅烷提纯工艺中树脂除杂技术研究进展
被引量:
1
下载PDF
职称材料
导出
摘要
氯硅烷作为生产电子级多晶硅的重要原料,即使原料中含有微量的杂质,最终也会影响电子级多晶硅产品纯度,由于杂质和氯硅烷的沸点相近,通过传统工艺很难去除。基于此,文章就氯硅烷提纯工艺中新型树脂除杂技术的应用做了分析与探讨。
作者
周国峰
许正清
机构地区
青海黄河水电公司新能源分公司青海省新能源材料与技术重点实验室
出处
《智能城市》
2019年第23期128-129,共2页
Intelligent City
关键词
氯硅烷
树脂
提纯
硼
磷
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
36
参考文献
3
共引文献
8
同被引文献
8
引证文献
1
二级引证文献
0
参考文献
3
1
黄国强,赵虎勇,杨劲.
多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术研究进展[J]
.现代化工,2013,33(11):14-18.
被引量:7
2
翟记川,常淑霞.
树脂吸附法除B、P在三氯氢硅生产中的应用[J]
.河北化工,2013,36(01X):47-48.
被引量:2
3
黄海涛,王劭南,鲜洪,杨强,贾琳蔚.
一种除去三氯氢硅中磷杂质的新方法[J]
.广东化工,2016,43(21):50-50.
被引量:3
二级参考文献
36
1
于剑昆.
二氯硅烷的生产与开发[J]
.无机盐工业,2005,37(5):12-14.
被引量:2
2
孙仁安,张旭,韩克利.
SiHCl_3-H_2气相外延生长Si单晶反应机理的理论研究[J]
.高等学校化学学报,2006,27(9):1695-1698.
被引量:2
3
于剑昆.
三氯硅烷的制备及精制工艺进展[J]
.无机盐工业,2007,39(1):14-18.
被引量:13
4
沈祖祥,严大洲,汤传斌,等.三氯氢硅加压提纯方法及装置:中国,1693192A[P].2005-11-09.
5
孙永敏.用树脂去除氯硅烷类物料中硼磷离子的方法:中国,101428804A[P].2009—05—13.
6
黄国强,苏国良,王红星.三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统及操作方法:中国,201010102924.4[P].2010-07-28.
7
于慧.2013年全球光伏市场需求将达31 GW[N/OL].中国工业报,2013-03-19.http://www.cinn.cn/zbzz/dgdq/286397.shtml.
8
邓峰,唐正林.多晶硅生产技术[M].北京:化学工业出版社,2009:90-91.
9
Kamei K,Prine L,Yasukawa T,et al.Method for producing trichlorosilane with reduced boron compound impurities:US,082609[P].2012-04-05.
10
Paetzold U,Haeckl W,Prochaska J.Process for purifying chlorosilanes by distillation:US,0193214[P].2012-08-02.
共引文献
8
1
刘见华,赵雄,万烨,严大洲,赵宇,杨典.
高纯三氯氢硅精制技术研究进展[J]
.有色冶金节能,2017,33(6):52-55.
被引量:1
2
张海洋,李星,张传明,满宝昌,付雁,吴成坤,张金利,代斌.
卤硅烷体系脱除B、P杂质工艺的现状及发展趋势[J]
.石河子大学学报(自然科学版),2017,35(5):529-536.
被引量:1
3
钱浩,黄国强.
高效除三氯氢硅中痕量硼、磷工艺研究进展[J]
.化学工业与工程,2018,35(2):42-48.
被引量:8
4
韩金豆,梁世民.
三氯氢硅节能精馏工艺模拟研究[J]
.现代化工,2019,39(7):207-210.
被引量:1
5
张红霞.
三氯氢硅生产技术的改进措施[J]
.化工管理,2019(7):83-84.
被引量:5
6
刘蕊,杨素芬,谷利敏,时智宝,汪敬恒.
三氯氢硅副产物氯硅烷废液的处理方法研究[J]
.河南科学,2020,38(3):423-428.
被引量:2
7
吴锋.
集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践[J]
.山东化工,2022,51(1):181-183.
被引量:3
8
何敬敬,赵长森,牛强.
浅析多晶硅杂质引入因素及解决方案[J]
.当代化工研究,2023(4):16-18.
同被引文献
8
1
武振国,郑洁.
电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化[J]
.化工管理,2018(2):101-101.
被引量:5
2
谢贤清,吴良发.
电子级三甲基硅烷的合成与提纯工艺改进[J]
.江西师范大学学报(自然科学版),2019,43(2):172-176.
被引量:3
3
唐伟博,徐李强,王飞行.
多晶硅生产过程中硅烷废气的处理[J]
.化工管理,2019,0(26):59-60.
被引量:2
4
陈辉,张征,万烨,孙强,张晓伟,张邦洁,王浩,裴蕾.
电子级多晶硅制备过程中质量影响因素分析[J]
.中国有色冶金,2019,48(6):49-51.
被引量:5
5
贺玉刚,王芳,孙强,张晓伟,时庆合,付强.
探究吸附装置安装位置对多晶硅除硼磷的影响[J]
.无机盐工业,2020,52(3):72-74.
被引量:2
6
马颖.
有机硅生产中氯甲烷深度回收工艺优化分析[J]
.化工管理,2020(9):185-186.
被引量:3
7
刘蕊,杨素芬,谷利敏,时智宝,汪敬恒.
三氯氢硅副产物氯硅烷废液的处理方法研究[J]
.河南科学,2020,38(3):423-428.
被引量:2
8
郑盛涛.
电子级多晶硅生产关键工艺分析[J]
.造纸装备及材料,2020,49(4):60-61.
被引量:8
引证文献
1
1
张祥.
电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化[J]
.石油石化物资采购,2021(32):91-93.
1
杨军.
浅谈高中化学有关无机“工艺流程”习题的处理方法[J]
.科教文汇,2019,0(35):152-153.
被引量:1
2
陈志攀.
坚持问题导向 强化政治提领[J]
.政工导刊,2019,0(12):36-37.
3
车贤.
低酸浸铜、高酸除杂两段酸浸工艺对金银氰化浸出效果试验研究及经济分析[J]
.化学工程与装备,2019,0(11):30-32.
4
汽车内饰件开发福音三菱化学推出紫外线3D打印树脂[J]
.橡塑智造与节能环保,2019,3(11):23-23.
5
袁永智,李晓飞.
深溪沟电站发电机定子绝缘盒树脂发黑原因分析及处理[J]
.陕西水利,2019,0(10):177-180.
被引量:1
6
安生虎,陈叮琳.
浅谈电子级多晶硅的清洗工艺[J]
.智能城市,2019,5(23):126-127.
被引量:3
7
丁振中,邓红兵,张超,高小燕,徐俊山,张家宏.
水溶性壳聚糖制备工艺优化及研究[J]
.化学工程与装备,2019,0(11):36-37.
8
徐金星,李丰平,杨良波,唐记平,赖克强,揭志辉,邹东旺,李通,连子胤,郑兴汶.
子莲良种繁育及防杂保纯技术[J]
.现代园艺,2019,0(23):73-74.
9
蔺林,戴飞,魏瑾瑾,陈峥,汤欣玥.
Nuocyte细胞对小鼠变应性鼻炎建模的作用研究[J]
.中国耳鼻咽喉头颈外科,2019,26(11):604-608.
10
陆基宗.
上品天然牛黄“挂乌金衣”[J]
.医食参考,2019,0(12):24-24.
智能城市
2019年 第23期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部