期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
PVD镀Al膜工艺研究
下载PDF
职称材料
导出
摘要
介绍PVD的原理,描述PVD设备的结构原理和性能参数,通过实验研究了PVD镀Al膜的工艺,分析了磁控溅射中溅射时间、溅射功率、靶基距、溅射温度和靶材对最终Al膜质量的影响,为实际应用中参数设置和工艺改进提供了参考。
作者
唐云
罗海辉
谭灿健
彭新华
机构地区
株洲中车时代电气股份有限公司
出处
《设备管理与维修》
2020年第1期25-27,共3页
Plant Maintenance Engineering
关键词
PVD
磁控溅射
Al膜
靶材
分类号
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
16
参考文献
4
共引文献
29
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
参考文献
4
1
王文静.
硅基太阳电池的发展[J]
.高科技与产业化,2007,13(6):26-27.
被引量:1
2
张西鹏,李伟,范洪远.
工艺条件对溅射薄膜附着性的影响[J]
.金属热处理,2003,28(1):29-31.
被引量:7
3
惠迎雪,杭凌侠,徐均琪,陈伟.
不同磁控溅射模式膜厚均匀性研究[J]
.西安工业学院学报,2003,23(1):32-36.
被引量:18
4
于力,刘技文,赵杰,戴少侠,金柱京,王慧君.
基材温度对离子镀TiN膜性能的影响[J]
.金属学报,1996,32(12):1270-1274.
被引量:8
二级参考文献
16
1
范正修,薛松生,何朝玲.
磁控溅射薄膜的厚度分布[J]
.应用科学学报,1993,11(2):136-140.
被引量:13
2
叶志镇,Z.Zhou,R.Reif.
低温气相硅外延前氩微波等离子原位溅射清洗对薄膜界面的损伤[J]
.真空科学与技术,1995,15(2):113-117.
被引量:4
3
胡作启,李佐宜,缪向水,刘卫忠.
磁控溅射薄膜的厚度均匀性理论研究[J]
.华中理工大学学报,1996,24(1):89-92.
被引量:13
4
于力,刘技文,赵杰,戴少侠,金柱京,王慧君.
基材温度对离子镀TiN膜性能的影响[J]
.金属学报,1996,32(12):1270-1274.
被引量:8
5
王力蘅 等.薄膜技术[M].北京:清华大学出版社,1991.131-134.
6
孙家枢,金属的磨损,1992年
7
Cheng C C,Surf Coat Technol,1989年,39卷,365页
8
蔡泽高,金属磨损与断裂,1985年
9
赵锡钦.
溅射薄膜技术的应用[J]
.电子机械工程,1999,15(3):58-60.
被引量:17
10
王岭,潘礼庆,孙加林,洪彦若,赵月娥.
平面射频磁控溅射法制备YSZ薄膜及性能[J]
.功能材料,1999,30(6):641-643.
被引量:3
共引文献
29
1
乔大勇,苑伟政.
基片摆动对磁控溅射膜厚均匀性的影响研究[J]
.航空精密制造技术,2010,46(6):6-8.
2
周继承,田莉.
镍铬合金薄膜的研究进展[J]
.材料导报,2005,19(7):5-7.
被引量:12
3
刘仕福,沈以赴,王少刚.
石墨表面钛金属化微观组织分析[J]
.焊接学报,2005,26(12):89-92.
被引量:2
4
邓凌超,栾亚,张国君,蒋百灵.
靶基距对C/Cr复合镀层厚度影响的研究[J]
.中国表面工程,2006,19(1):47-50.
被引量:2
5
刘仕福,沈以赴,王少刚,王蕾.
石墨表面钛金属化界面的组织及机理[J]
.稀有金属材料与工程,2006,35(7):1085-1088.
被引量:4
6
温培刚,颜悦,张官理,望咏林.
磁控溅射沉积工艺条件对薄膜厚度均匀性的影响[J]
.航空材料学报,2007,27(3):66-68.
被引量:22
7
田永生,陈传忠,王德云,雷廷权.
气相沉积技术制备TiN类硬质膜[J]
.材料科学与工艺,2007,15(3):439-444.
被引量:8
8
宋文龙,邓建新,赵金龙.
磁控溅射薄膜附着性能的影响因素[J]
.工具技术,2007,41(10):20-23.
被引量:7
9
靳毅,肖飞,温旭辉,姜昕.
平面旋转磁控溅射源的研究[J]
.真空,2008,45(4):90-92.
10
于贺,吴志明,王涛,蒋亚东,姜晶,靖红军.
平面磁控溅射薄膜厚度均匀性的研究概述[J]
.真空,2010,47(3):9-15.
被引量:7
1
郑鑫辉,孙晗宇,吴冠霖,江奕奕,唐志强.
柔性振动能采集装置[J]
.装备维修技术,2019,0(6):83-83.
2
郭文卉.
FFS包装用重膜存在的常见问题分析[J]
.区域治理,2018,0(1):268-268.
3
Xiao-feng ZHANG,Shao-peng NIU,Zi-qian DENG,Min LIU,Hong LI,Chun-ming DENG,Chang-guang DENG,Ke-song ZHOU.
Preparation of Al2O3 nanowires on 7YSZ thermal barrier coatings against CMAS corrosion[J]
.Transactions of Nonferrous Metals Society of China,2019,29(11):2362-2370.
被引量:7
4
王华昆,余建星,余杨,韩翔希,李修波,樊志远.
考虑载荷效应的三维颗粒冲蚀数值模拟[J]
.中国造船,2019,60(4):66-72.
被引量:1
5
刘仁臣,陆静,李昂,丁娟,全薇.
金属Al背电极二维AZO光栅的制备和陷光特性[J]
.光子学报,2020,49(1):131-139.
被引量:1
6
宗楠,胡蔚敏,王志敏,王小军,张申金,薄勇,彭钦军,许祖彦.
激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展[J]
.中国光学,2020,13(1):28-42.
被引量:21
7
林叶枫.
对空域谱估计算法的研究[J]
.电子测量技术,2019,42(19):101-105.
被引量:1
8
崔晓芳,吴晓飞,郗雨林.
ITO靶材的直流磁控溅射镀膜工艺研究[J]
.材料开发与应用,2019,34(6):35-39.
9
潘成成,宋诗哲,胡文彬,夏大海.
钝性金属表面共价结合自组装膜制备及耐蚀性研究进展[J]
.表面技术,2019,48(12):43-53.
被引量:2
10
黄美林,任永聪,梁竞鹏,王晓如,林雪莹,鲁圣国.
磁控溅射工艺对沉积丙纶无纺布基底金属薄膜的影响[J]
.真空科学与技术学报,2019,39(11):937-943.
被引量:2
设备管理与维修
2020年 第1期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部