摘要
根据芯思想研究院(ChipInsights)的数据表明,2019年全球半导体、面板、LED用光刻机出货约550台,较2018年减少50台。其中半导体前道制造用光刻机出货约360台;半导体封装、面板、LED用光刻机出货约190台。2019年ASML、Nikon、Canon三巨头半导体用光刻机出货359台,较2018年的374台减少15台,跌幅为4%。从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看,全年共出货154台。其中ASML出货130台,占有84%的市场,较2018年下降6个百分点。
出处
《电子工业专用设备》
2020年第1期69-69,共1页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
