氦质谱检漏技术在大型高真空系统焊缝检测中的应用

Application of helium mass spectrometry leak detection technology in large high vacuum system weld inspection

氦质谱检漏在小型高真空系统焊缝中应用技术成熟,但用在2300m3高真空系统焊缝检漏中还是首次,只有通过有效的手段才发挥出氦质谱在2300m3系统成功检测出漏点所处位置并及时排除问题,才能使系统能够达到0.001Pa(A)的设计真空度。