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逻辑器件的新进展 被引量:1

New Development of Logic Devices
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摘要 描述集成电路国际主流技术的发展方向,分析集成电路先进技术的发展趋势。包括堆叠环栅(GAA)纳米线晶体管技术,基于高迁移率材料的晶体管技术,低功耗晶体管器件技术,新型碳基及二维电子器件。 This paper describes the development direction of international mainstream IC technology and analyzes the development trend of advanced IC technology.It includes GAA nanowire transistor technology,transistor technology based on high mobility materials,low-power transistor device technology,new carbon based and two-dimensional electronic devices.
作者 张卫 ZHANG Wei(School of Microelectronics,Fudan University,Shanghai 20120,China)
出处 《集成电路应用》 2020年第2期8-11,14,共5页 Application of IC
基金 上海经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项资金(1800505)
关键词 集成电路 半导体 逻辑器件 integrated circuit semiconductor logic device
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