自动集中监控系统在集成电路生产线中的应用

介绍了自动集中监控系统(AMS)的主要架构、系统特点、监控设备类型和系统组成,通过多种监控分析图表,实现从不同视角监控生产过程状态,并分析了监测结果,证明了该设备监控系统具有较高的准确性和实用性。