一种质谱仪真空测量系统的研制

本文介绍了一种基于STM32微控制器的质谱仪的真空测量系统。此系统由真空规、离子泵电源、信号调理电路、通讯接口和软件组成,兼容分子泵和离子泵两种真空平台,具有较高的集成度,紧凑的体积和较低的功耗。测试结果证实了所设计的真空测量系统能够实时、准确地监测质谱仪真空度,在满足仪器正常使用需求的同时,也提高了仪器的可靠性。