期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
半导体材料加工过程的化学方法应用
被引量:
2
下载PDF
职称材料
导出
摘要
随着我国经济与科技的发展,各个领域都在不断进行深化改革,化工行业也迎合了时代发展的要求,创新出了很多高科技术,目的是以经济成本最低的化学方法加工出实用性及环保性更高的化学材料,此文便是以半导体材料的加工为例,简要介绍了此材料在加工过程中所应用的化学方法,从加工步骤中的化学缓蚀、化学机械抛光到后期的清洗过程,以及对半导体加工的未来展望,全都一应俱全的呈现在文章上,以为化工企业做参考。
作者
王新华
机构地区
池州学院
出处
《中国金属通报》
2020年第3期72-72,74,共2页
China Metal Bulletin
关键词
半导体材料
缓释
化学机械抛光
清洗
分类号
TN304.5 [电子电信—物理电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
9
引证文献
2
二级引证文献
1
同被引文献
9
1
陆海涛,郭菁楠,徐山山,金建勇.
多层电子工业厂房钢结构安装施工技术[J]
.浙江建筑,2016,33(9):43-47.
被引量:6
2
陈洪亮,王丽晶.
大跨度大空间建筑火灾坍塌事故统计分析[J]
.消防科学与技术,2017,36(4):536-539.
被引量:16
3
陈明.
洁净室的温湿度控制设计[J]
.建材发展导向,2018,16(3):110-110.
被引量:1
4
郑权.
洁净室洁净度检测与计算机中的运算[J]
.轻工标准与质量,2019,0(6):94-96.
被引量:1
5
史霄,杨师,杨元元,费玖海.
半导体制造设备排气通风设计及仿真[J]
.电子工业专用设备,2021,50(1):63-66.
被引量:2
6
职远,张丁超,刘俊杰,夏群艳.
半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析[J]
.暖通空调,2021,51(3):46-50.
被引量:7
7
王本义,谷德鑫,邱书媛.
半导体晶圆的污染杂质及清洗技术分析[J]
.中国设备工程,2021(9):215-216.
被引量:3
8
杨会敏,黄伟环,唐楚强.
基于差压原理的空调过滤网洁净度检测[J]
.家电科技,2021(6):102-106.
被引量:1
9
马磊.
我国半导体清洗设备国产化之关键部件市场研究[J]
.现代化工,2019,39(4):6-12.
被引量:2
引证文献
2
1
付沛松.
半导体工厂火灾扑救对策研究[J]
.广东化工,2021,48(9):166-167.
被引量:1
2
苗阵,王贺,王爽,郭立建.
浅谈半导体涂胶显影设备生产的洁净度控制[J]
.通讯世界,2023,30(3):166-168.
二级引证文献
1
1
付沛松.
工厂仓库火灾扑救训练模式探究[J]
.山东化工,2022,51(2):174-175.
被引量:4
1
董英豪,周杰,杨海艳,杨杰,段可,冯波,翁杰.
碳钢表面磷酸镁涂层制备与防腐性能研究[J]
.腐蚀科学与防护技术,2017,29(5):515-520.
被引量:7
2
叶晨,王宏志,高宏,李建中.
面向众包数据清洗的主动学习技术[J]
.软件学报,2020,31(4):1162-1172.
被引量:15
3
朱建红,仇辉,陈星宇.
导致变压器油产生氢气的问题研究[J]
.变压器,2020,57(2):65-69.
被引量:5
4
吕自朝,吕松杰,王登辉.
"大福星"是农民朋友的大救星[J]
.农民致富之友,2020,0(3):107-107.
5
罗波.
高中化学教学生活化的策略探究[J]
.课堂内外(教师版)(中等教育),2019,0(12):126-126.
6
虞建华.
钳工高级技能题三角燕尾配合件的加工工艺分析[J]
.南方农机,2020,51(2):244-245.
被引量:2
7
吴峰.
基于参数化建模的风电齿轮工序卡制作方案[J]
.中国设备工程,2020,0(2):79-80.
被引量:1
8
陈奎地,石建军.
浅谈有机化学在高分子材料合成中的应用效果[J]
.女报,2020(3):26-26.
9
K.TESAŘ,K.BALÍK,Z.SUCHARDA,A.JÄGER.
直接挤压成形生物医用镁合金细丝(英文)[J]
.Transactions of Nonferrous Metals Society of China,2020,30(2):373-381.
被引量:3
10
刘建涛,高运华,韩子钰,李春,段学欣.
基于牺牲层工艺的微流控亚微米粒子计数器研究[J]
.分析试验室,2019,38(11):1278-1281.
中国金属通报
2020年 第3期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部