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半导体材料加工过程的化学方法应用 被引量:2

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摘要 随着我国经济与科技的发展,各个领域都在不断进行深化改革,化工行业也迎合了时代发展的要求,创新出了很多高科技术,目的是以经济成本最低的化学方法加工出实用性及环保性更高的化学材料,此文便是以半导体材料的加工为例,简要介绍了此材料在加工过程中所应用的化学方法,从加工步骤中的化学缓蚀、化学机械抛光到后期的清洗过程,以及对半导体加工的未来展望,全都一应俱全的呈现在文章上,以为化工企业做参考。
作者 王新华
机构地区 池州学院
出处 《中国金属通报》 2020年第3期72-72,74,共2页 China Metal Bulletin
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