有机玻璃表面沉积ITO薄膜疲劳弯曲特性研究

柔性衬底表面沉积TCO薄膜具有许多独特的优点,应用广泛。但其在应用过程中常处于弯曲状态,膜层内残余应力因此变得显著,性能稳定性下降,大大影响和限制了其正常使用。本文选取有机玻璃为柔性沉底,采用磁控溅射法在其表面沉积ITO薄膜制备了试验样片;研究了疲劳弯曲试验下样片光电性能的稳定性,对试验结果进行了原因分析,为柔性衬底表面沉积TCO薄膜的合理使用提供参考。