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激光共聚焦显微镜在铜箔表面粗糙度测量中的应用 被引量:1

Application of laser confocal microscope in surface roughness measurement of copper foil
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摘要 文章主要对激光法测量铜箔表面粗糙度的测量进行研究。结果表明,激光法具有灵敏度高、分辨率高、准确性高、速度快、不损伤样品等优点,在铜箔表面粗糙度测量技术上具有更大优势。 In this paper the measurement of the surface roughness of the copper foil by laser method is studied.The results show that the laser method has the advantages of high sensitivity,high resolution,high accuracy,high speed and non-damaged sample,and it has a greater advantage in the surface roughness measurement technology of copper foil.
作者 张艳华 葛鹰 Zhang Yanhua;Ge Ying
出处 《印制电路信息》 2020年第3期26-29,共4页 Printed Circuit Information
关键词 激光共聚焦 铜箔 表面粗糙度 非接触式 Laser Confocal Copper Foil Surface Roughness Non-Contact
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