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MEMS传感器和智能传感器的发展 被引量:5

Development of MEMS sensors and smart sensors
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摘要 MEMS传感器和智能传感器可以被称为新时代传感器的典型代表,在智能化以及集成化方面体现出独特的优势。随着我国科学技术发展水平的提高,MEMS传感器和智能传感器也处于不断发展的过程中,同时应用的范围不断拓宽,为各行各业带来了极大的便利。文章对此展开分析。 MEMS sensor and smart sensor can be called the typical representative of the new era sensor,which shows unique advantages in intelligence and integration.With the development of science and technology in China,MEMS sensors and smart sensors are also in the process of continuous development,while the scope of application is expanding,bringing great convenience to all walks of life.This paper analyzes it.
作者 雷鸣远 Lei Mingyuan(Xi’an Aviation Institute of Computing Technology,Xi’an 710119,China)
出处 《无线互联科技》 2020年第6期20-21,共2页 Wireless Internet Technology
关键词 微机电系统传感器 智能传感器 应用 microelectro mechanical systems sensor smart sensor application
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