声表面波谐振器设计与仿真

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摘要综合声表面波谐振器设计的研究方法与思路,给出体声波和声表面波的划分方法,介绍了声表面波的机电耦合系数、压电薄膜基片的厚度与波长对声表面波性能的影响关系式,仿真了Cu电极ScAlN薄膜基片谐振器机电耦合系数与薄膜厚度的关系。

作者李良秋董志贵

机构地区中芯国际集成电路制造(上海)有限公司辽宁科技学院创新创业学院

出处《信息记录材料》 2020年第3期161-162,共2页 Information Recording Materials

关键词声表面波谐振器 CU电极 Sc Al N薄膜

参考文献2

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信息记录材料

2020年第3期

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