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四探针法测量薄层电阻方法对比
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4
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摘要
通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更加适合微区薄层电阻的测量。
作者
姚子祥
刘洪山
机构地区
华南农业大学电子工程学院
出处
《信息记录材料》
2020年第3期245-246,共2页
Information Recording Materials
基金
2020.01华南农业大学《微电子技术》课程思政示范项目批文号20191220。
关键词
四探针
薄层电阻
电阻率
分类号
TM93 [电气工程—电力电子与电力传动]
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