一种电子级特种气体中和洗涤塔

本发明公开了一种电子级特种气体中和洗涤塔,包括塔体、位于所述塔体表面的喷淋口以及位于所述塔体外的溶液箱;所述塔体内设置有雾化器,所述塔体顶部设有进气口,所述塔体底部设有出气口,所述喷淋口通过连接管与所述溶液箱连接,所述雾化器与所述喷淋口位置对应,所述溶液箱内装有可与气体中和的酸性或碱性液体,所述溶液箱内的液体可通过连接管进入喷淋口内。本发明能够大大提升电子级特种气体的吸附效率,[JP4]减少了电子级特种气体排放在空气中的排放量,同时删去了抽风装置,降低了能耗,解决了中和反应产生粉尘堵塞传统洗涤塔填料的问题,减少资源浪费,降低人员更换填料人工,降低了工人的劳动强度。