一种电子级三氯化硼的制备方法

本发明公开一种电子级三氯化硼的制备方法,氯气和氢气从底部充入光催化反应器,光催化反应器中,沸腾床反应器反应产物中光气在光照下分解成一氧化碳和氯气,氯气和氢气在紫外光照下反应生成氯化氢并自光催化反应器顶部采出;上述氯化氢经换热、汽化处理后与硼粉在沸腾床反应器中反应,反应产物从沸腾床反应器顶部采出进入脱轻塔再沸器换热后进入光催化反应器;光催化反应器底部采出三氯化硼粗品进入脱轻塔,脱轻塔塔顶采出进入脱重塔再沸器换热后进入分凝器冷凝冷却后液相回流脱轻塔;脱轻塔塔釜物料进入脱重塔,[JP2]脱重塔塔顶经冷凝器冷凝后采出6N三氯化硼产品。本发明简单可靠,能耗低,易于实现,便于工业化生产。