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氦检漏压氦方法的优化研究

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摘要 按《半导体分立器件试验方法》,电子元器件的细检漏可采用氦质谱检漏的方式进行检漏,本文就氦质谱检漏的压氦方式方法进行研究,对细检漏设备的检漏平台及检漏方式进行优化和改造,以获得准确的检测结果。
作者 刘姚军
机构地区 国营芜湖机械厂
出处 《科技成果纵横》 2019年第24期234-234,237,共2页
关键词 检漏 氦质谱
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