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氦检漏压氦方法的优化研究
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摘要
按《半导体分立器件试验方法》,电子元器件的细检漏可采用氦质谱检漏的方式进行检漏,本文就氦质谱检漏的压氦方式方法进行研究,对细检漏设备的检漏平台及检漏方式进行优化和改造,以获得准确的检测结果。
作者
刘姚军
机构地区
国营芜湖机械厂
出处
《科技成果纵横》
2019年第24期234-234,237,共2页
关键词
检漏
氦质谱
分类号
TU9 [建筑科学]
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