紫外辐照辅助溶液沉积制备YBa2Cu3O7-x超导膜过程中辐照机理分析

紫外辐照辅助制备YBa2Cu3O7-x超导膜过程中会发生一系列的光化学反应,主要涉及长链大分子有机金属盐的氧化裂解及薄膜致密化过程。本文基于以往的研究对辐照过程中的具体过程进行分析总结,并结合存在的碳残留问题进行了技术展望。