摘要
纳米孔阵列在生物检测、传感器、发光器件、光学调制和新能源等领域具有重要的应用。综述了目前几种主流的纳米孔阵列加工技术的基本原理、研究进展、加工效率、加工精度、加工质量、适用范围,并比较了这几种加工方法各自的优势及其局限性。最后指出了纳米孔阵列加工技术当前所面临的挑战和今后的发展方向,以期为大面积纳米孔阵列的高效率、高精度、高质量、低成本制造提供新思路。
Nanohole arrays have important applications in the fields of biological detection,sensors,light-emitting devices,optical modulation and new energy sources.The basic principles,research status,processing efficiency,accuracy,quality and application range of several mainstream nanohole arrays processing technologies are reviewed,and the advantages and limitations of these processing methods are compared.Finally,the current challenges and future development directions of nanohole arrays processing technology are pointed out in order to provide new processing strategies toward the high efficiency,high precision,high quality and low cost manufacturing of large-area nanohole arrays.
作者
张鹏程
温秋玲
姜峰
沈少鑫
陆静
ZHANG Pengcheng;WEN Qiuling;JIANG Feng;SHEN Shaoxin;LU Jing(Institute of Manufacturing Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021;College of Information Science and Engineering,Huaqiao University,Xiamen 361021)
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第9期223-233,共11页
Journal of Mechanical Engineering
基金
国家自然科学基金青年科学基金(51805176)
华侨大学中青年教师科技创新资助计划(ZQN-PY601)
华侨大学研究生科研创新基金(17013080044)资助项目
福建省高校新世纪优秀人才支持计划。
关键词
纳米孔阵列
阳极氧化法
激光制孔
聚焦离子束加工
电子束加工
图形复制技术
nanohole arrays
anodic oxidation method
laser drilling
focused ion beam processing
electron beam processing
pattern transfer technology
