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玻璃磨边机改造成氧化铟锡靶材磨边机的研究 被引量:1

Research on the Glass Edging Machine Transformed into Target Indium Tin Oxide Target Edging Machine
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摘要 通过对玻璃磨边机改造成靶材磨边机后实际操作的分析,找出出现的主要问题。改造中出现的崩角、面裂纹及台阶等缺陷经过优化后,改造后可以对靶材进行公差正负0.1 mm以内的加工,并且能够进行大斜面加工。 Through the analysis of the actual operation after the glass edger is transformed into the target edger,the main problems are found out. After optimization,the target material can be processed with tolerance within plus or minus 0.1 mm,and can be processed with large bevel.
作者 陆映东 黄誓成 LU Ying-dong;HUANG Shi-cheng(Guangxi Crystal Union Photoelectric Materials Co.,Ltd.,Liuzhou Guangxi 545036,China)
出处 《装备制造技术》 2020年第4期84-86,共3页 Equipment Manufacturing Technology
关键词 靶材 崩角 磨边机 target collapse angle grinding machine
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参考文献5

二级参考文献24

共引文献35

同被引文献4

引证文献1

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