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液晶面板18MΩ·cm超纯水脱碳脱氧工艺优化设计
被引量:
1
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摘要
该工程为某高世代液晶面板项目超纯水制备系统(不包括回收系统),以市政自来水为原水,处理规模2250m^3/h,针对电阻率、TOC、DO 3个重难点水质指标进行了优化设计。
作者
田宇鸣
机构地区
中国电子系统工程第二建设有限公司
出处
《中国高新科技》
2020年第9期109-110,共2页
关键词
液晶面板
超纯水制备
优化设计
分类号
TU991 [建筑科学—市政工程]
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中国高新科技
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