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飞秒激光加工石墨烯材料及其应用 被引量:11

Femtosecond Laser Processing of Graphene and Its Application
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摘要 飞秒激光具有超快超强超精密的优势,使其成为加工石墨烯的理想的方式之一。本文介绍了飞秒激光加工石墨烯材料,包括飞秒激光加工石墨烯薄膜材料和飞秒激光液相烧蚀加工石墨烯材料。同时,重点介绍了飞秒激光加工石墨烯材料的应用,包括在微电路和光电子器件、集成传感器和机械装置、微型超级电容器中的应用。 Femtosecond lasers have the advantage of being super fast and precise,making them an ideal way to process graphene materials.In this paper,the femtosecond laser processing of graphene materials is introduced,including femtosecond laser processing of graphene thin film materials and femtosecond laser liquid phase ablation processing of graphene materials.The applications of the graphene materials processed by femtosecond laser,including microcircuits and optoelectronic devices,integrated sensors and mechanisms,and miniature supercapacitors,are also highlighted in this review.
作者 原永玖 李欣 Yuan Yongjiu;Li Xin*(School of Mecharical Engineering,Beijing Inustitute of Technology,Beijing 100081,China)
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第11期162-171,共10页 Laser & Optoelectronics Progress
关键词 激光器 飞秒激光 石墨烯 电子器件 微纳制造 lasers femtosecond laser graphene electronic device micro-nano manufacturing
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参考文献3

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