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高纯含氟电子气体国产化成功
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摘要
极大规模集成电路行业所需的高纯度气体有了新着落。"我们承担的国家科技重大专项‘极大规模集成电路制造装备与成套工艺’中的‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目,通过了国家重大专项项目组的现场测试与评审。相关产品已提交客户使用,市场应用效果良好。" 6月11日,黎明化工研究设计院有限责任公司首席技术官牛学坤表示。
出处
《浙江化工》
CAS
2020年第6期5-5,共1页
Zhejiang Chemical Industry
关键词
四氟化碳
六氟化硫
成套工艺
制造装备
首席技术官
国家科技重大专项
项目组
子项目
分类号
F426.7 [经济管理—产业经济]
TQ117 [化学工程—无机化工]
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浙江化工
2020年 第6期
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