摘要
通过检索近年来关于铝掺杂氧化锌薄膜晶体管(AZO-TFT)的相关文献,对文献进行研究综述。作为铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO-TFT)的替代方案,AZO-TFT近年来引起关注。文中阐述了不同的制备铝掺杂氧化锌薄膜晶体管的(AZO-TFT)有源层的方法,以期对今后的研究工作提供参考。
出处
《科学技术创新》
2020年第26期73-75,共3页
Scientific and Technological Innovation
基金
吉林建筑大学大学生创新创业训练计划省级项目《新型显示技术中驱动器件的制备关键技术研究》资助。
