摘要
先进光学制造在惯性约束聚变、空间观测、同步辐射、纳米光刻等领域都有重大的应用需求。在这些应用领域的推动下,先进光学制造技术正朝着“一大一小”、“两特殊”的方向发展。“一大”是指光学元件的口径越来越大,同时追求高轻量化、高比刚度;“一小”是指小口径光学元件的加工精度要达到亚纳米、深亚纳米甚至皮米量级,同时要求加工表面超光滑、无亚表面损伤、超低缺陷;“两特殊”是指光学元件的材料与结构的特殊化。因此,先进光学制造全流程涵盖的镜坯制造、光学加工检测、支撑技术等都迎来了蓬勃的发展。本专题主要从光学制造技术概述和研究两个方面介绍先进光学制造的现状及未来发展趋势。
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第8期I0001-I0002,共2页
Opto-Electronic Engineering