摘要
微型化、集成化及智能化是当今科学技术的主要发展方向。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和微加工技术的发展,微型传感器也随之迅速发展。介绍了MEMS传感器概念及种类,并对其研究现状、应用领域进行了分析总结和介绍。最后,对MEMS传感器的一些发展趋势进行了论述和展望。
出处
《农业开发与装备》
2020年第8期27-29,共3页
Agricultural Development & Equipments
基金
四川革命老区发展研究中心资助项目(SLQ2017B-09)。