摘要
一种适用于电子气工厂的制氮机申请(专利)号:202010268201.5公开(公告)日:2020-08-04申请(专利权)人:广州广钢气体能源股份有限公司摘要:本发明涉及电子气的技术领域,更具体地,涉及一种适用于电子气工厂的制氮机,包括空气过滤及压缩系统、空气预冷系统、空气纯化系统、换热器系统、氧氮精馏系统及后备系统:空气先进入空气过滤器去除杂质,后送往空气压缩机压缩,空气自下而上流出空气冷却塔进入空气纯化系统,纯化后的空气经换热器冷却到液化温度后进入第一塔参与精馏,精馏得到的氮气作为氮气产品送用户,少量液氮送入后备系统,精馏得到的富氧液空可回流至空气纯化系统和空气预冷系统。
出处
《低温与特气》
CAS
2020年第4期54-54,共1页
Low Temperature and Specialty Gases