一种HCl电子气体的反应性超声精馏提纯方法

申请(专利)号:202010028865.4公开(公告)日:2020-05-08申请(专利权)人:浙江博瑞电子科技有限公司摘要::本发明涉及高纯气体提纯领域,具体关于一种HCl电子气体的反应性超声精馏提纯方法;本发明的一种HCl电子气体的反应性超声精馏提纯方法,本发明在含微量水的液化HCl中分别加入少量氯化亚砜,通过精馏去除、或氯化亚砜与水分反应生成的CO2或SO2,达到HCl脱水提纯的目的;另外,将液化或液化HCl置于超声场中进行精馏提纯,能够为促进氯化亚砜与液化或液化HCl中微量水分的反应,加速CO2或SO2从液化或液化HCl中的逸出,有效降低CO2或SO2在液化或液化HCl中的残留;本发明属于水分反应性转化与超声除气耦合方法,具有纯度高,水分含量极低的优点。