摘要
在智能系统中,驱动器与传感器并列为重要的两类器件,各种各样的传感器负责感知外界信号,驱动器则可以根据周围环境变化发生形变,将各种环境能量(例如:光能、热能、化学能等)转换为机械能从而驱动相应的部件进行工作,是微机电系统(MEMS)、自适应光学、无人驾驶等应用前景中不可或缺的核心部件.在驱动器制备方面,普遍采取的方法是将多种具有不同物理/化学性质的材料组装成双层或多层结构.依靠不同材料对环境变化具有不同响应的特点,实现刺激响应驱动.
作者
张海霞
Haixia Zhang(Department of Microelectronics,School of Electronics Engineering and Computer Science,Peking University,Beijing 100871,China)
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第24期2541-2542,共2页
Chinese Science Bulletin