新型MEMS流量传感器的设计与制作

根据鱼类机械侧线感知系统,设计了一种基于压电效应的新型MEMS流量传感器;利用分析软件进行流-固耦合仿真,优化了纤毛的关键尺寸和分布方式;利用微纳加工工艺制作了流量传感器的样机,并对传感器样机进行了初步测试。该微型MEMS传感器的可以实现微流体的流速测定,在水下机器人、生物医学和微流体设备的检测等领域,具有广阔的应用前景。