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四氯化硅工业应用进展 被引量:1

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摘要 作为多晶硅生产的中间产物,四氯化硅的产量随着多晶硅生产规模的扩大而增多,学术界关于四氯化硅工业应用的研究也逐渐增多。本文介绍了四氯化硅在制备三氯氢硅、氮化硅陶瓷、白炭黑、多晶硅以及光纤原料高纯四氯化硅中的应用及进展,为化工企业合理利用四氯化硅提供了参考。
出处 《青海科技》 2020年第5期40-45,共6页 Qinghai Science and Technology
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