探析基于石墨烯-硅波导的集成光电子器件应用

集成电路正面临功耗、带宽、延时等瓶颈,集成光学成为关注焦点,要重点探讨硅基光电子技术,利用其有良好CMOS工艺兼容性进行设计和应用,将光电子器件嵌入到硅基芯片上,并在硅基上引入具有超高载流子迁移率的石墨烯材料,较好地应用于光学开关、光学滤波器、光学调制器、光电探测器等集成光电子器件,可以充分体现其不可比拟的优势。