多用途实验用真空气氛炉的研发与应用

多用途实验用真空气氛炉主要用于真空或氢气气氛中对各类材料进行烧结、退火等工艺。本系统最高温度可达2100℃,冷态极限真空度优于5×10^-5 Pa,热态极限真空度优于5×10^-4 Pa,温度均匀性满足±5℃,实现了工艺过程对高真空环境、高温环境、气氛环境的要求。控制系统采用西门子公司的S7-1200系列PLC,监控系统采用紫金桥RealInfo组态软件,可以实现在不同环境下的多用途自动工作,并对工作过程进行记录。实际测试表明,该系统占地面积小、运行安全可靠、能够满足不同的工艺需求。