影响尾气回收装置循环氢气质量的因素分析

改良西门子法多晶硅生产尾气回收装置尾气粗分离单元、气体输送单元、氯化氢吸收单元、氯化氢解析单元、H2净化单元五个单元,还原炉尾气中杂质BC13,PC13,以及单质B,P等通过烟气吸收、加压冷凝,吸收解析,氢气净化过程中从氢气中分离,提纯后氢气送至还原炉循环利用。文章通过分析5个单元工艺流程中可能存在问题,并提出改进方向可以提高循环氢气杂质去除效果,保证还原炉化学气相沉积过程中循环氢气纯度。