期刊文献+

研磨机摇臂轴实验装置系统设计

下载PDF
导出
摘要 针对研磨机在化学机械抛光方面复杂参数的影响,通过对研磨机的改造与设计,使得研磨工件自转的同时又公转,且速度可调。现详细阐述了改造后摇臂轴结构原理,该结构在工件研磨时,速度可控,研磨轨迹均匀,有效解决了机械抛光中各点去除率差异等问题。
出处 《机电信息》 2020年第36期115-115,117,共2页
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献16

  • 1The National Ignition Facility:Ushering in a New Age for Science[EB/OL].Livermore,CA:Lawrence Livermore National Laboratory,2009.https://lasers.llnl.gov/programs/nif/.
  • 2Katagiri M,Namba Y.Optical Surface Generation of KDP Inorganic Nonlinear Crystals by Ultraprecision Surface Grinding[J].Journal of the Japan Society for Precision Engineering,1999,65(6):888-892.
  • 3Arrasmith S R,Kozhinova I A,Gregg L L,et al.Details of the Polishing Spot in Magnetorheological Finishing (MRF)[A].Proceedings of SPIE[C].1999,3782:92-99.
  • 4张飞虎,郭少龙,张勇.磷酸二氢钾晶体潮解抛光方法[P].中国专利:CN101310922A,2008-11-26.
  • 5Wang B,Gao H.Experimental Study on KDP Crystal Polishing[A].Proceedings of SPIE[C],2007,6722:672209.
  • 6Nikogosyan D N.Nonlinear Optical Crystal:A Complete Survey[M].New York:Springer Press,2005:115-132.
  • 7Li Y.Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization[M].New Jersey:Wiley-Interscience,2007:201-247.
  • 8Shinn G B,Korthuis V,Grover G,et al.Chemical-mechanical Polishing[M].Boca Raton:CRC Press,2008:17-1.
  • 9吴东江,曹先锁,高航,康仁科.KDP晶体磨削表面缺陷及损伤分析[J].中国机械工程,2008,19(6):709-712. 被引量:4
  • 10原泉,董朝阳,王青.基于小波神经网络的多传感器自适应融合算法[J].北京航空航天大学学报,2008,34(11):1331-1334. 被引量:12

共引文献10

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部