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Micro LED微显示芯片制备技术 被引量:4

Fabrication Technology of Micro LED Microdisplay Chip
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摘要 Micro LED微显示技术是将传统LED薄膜化、微小化和矩阵化,像素点距离从毫米级降至微米级,并在一个芯片上高度集成的固体自发光显示技术,因其低功耗、响应快、寿命长、发光效率高等特点,被视为一种独特的显示面板技术。本文主要介绍了Micro LED微显示芯片的制备技术,包括芯片结构设计、制备技术优化、光电集成芯片制备技术、巨量转移技术,最后介绍了芯片小型化效应。 Micro LED is a solid spontaneous light display technology with high integration on a single chip.It is traditional LED with thin-filmed,miniaturized and matrixized transformation.Its pixel distance decreases from millimeter level to micron level.Due to the low power consumption,fast response,long life,high light efficiency,it is regarded as a unique display panel technology.This paper mainly introduces the preparation technology of Micro LED display chip,including chip structure design,preparation technology optimization,photoelectric integrated chip preparation technology,mass transfer technology.At last,the effect of chip miniaturization is introduced.
作者 陈佳昕 李梦梅 郭伟玲 CHEN Jiaxin;LI Mengmei;GUO Weiling(Optoelectronics Technology Lab. Ministry of Education, Beijing University of Technology, Beijing 100020, China)
出处 《照明工程学报》 2021年第1期12-18,共7页 China Illuminating Engineering Journal
基金 国家科技重大专项(批准号:2017YFB0403102)。
关键词 微显示 芯片制备 光电集成 芯片小型化效应 micro-display chip preparation photoelectric integration chip miniaturization effect
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