微机电系统温度传感器研究进展及产业现状综述

传统的温度传感器虽然在各行业已经广泛应用,但因尺寸较大等因素,影响其应用于微型化产品中。微机电系统(MEMS)温度传感器具有高灵敏度、小体积、低功耗等优点,非常适合在集成电路系统内应用。综述了几种典型MEMS温度传感器的研究进展及其产业现状,对比分析了不同种类MEMS温度传感器其各自的优缺点。