硅基电感LC滤波器的研究

该文根据微机电系统(MEMS)的相关工艺进行开发并且制成了小型的P频段LC滤波器。该滤波器的制造过程中采用了硅通孔(TSV)的相关技术,并利用双硅片键合的方法加工制作。LC谐振式电路的电感元器件为螺旋型电感且集成于硅片上层,电容元器件使用薄膜型电容且集成于硅片下层。该文选用1种频率为755 MHz,矩形参数不大于1.5的LC滤波器。其仿真模拟计算的结果与规划设计基本一致,证明了硅基立体电感LC滤波器满足设计要求。