关于电子厂房洁净室HVAC系统施工技术浅析

Briefing on Construction Technology of HVAC System of Electronics Cleanroom

现在中国经济发展高科技是最重要的特征之一,因此我国高端制造业的发展水平在近年来得到显著提升。尤其集成电路生产企业,在现代社会中获得了许多发展机遇,因此,其发展速度和发展规模都得以提升。但是集成电路企业的生产车间条件比较苛刻,尤其对洁净度的要求非常高。如果洁净度不佳,则会影响产品的质量,因此发展集成电路企业的核心,就是要不断提升电子工业厂房的洁净室水平。从电子工业洁净空调系统的特点分析入手,结合具体的案例,对洁净空调系统的措施与方法,进行细致的探讨,希望能够促进相关行业的进步与发展。

With strict environmental requirements by IC manufacture,particularly for air cleanliness,product quality will be ensured.Otherwise,product quality will be adversely affected.Characteristics of HVAC system for electronics industry were analysed with specific cases and detailed discussions about measurements.