线位移传感器综合校准台的研制

一种可实现大测量量程工业用线位移传感器综合校准台,其按照JJF1305-2011《线位移传感器校准规范》的校准方法,利用激光干涉仪测量该装置测量台的位移变化值,并尽量减少阿贝误差和余弦误差,将测量值与被校准线位移传感器的位移显示值进行比较,经数据处理得出该位移传感器的基本误差、回程误差、重复性等校准结果,实现了对大测量量程工业用线位移传感器的校准。