摘要
为解决高纯电子级溴化氢源头制备的工程技术难点,延续先前溴化氢合成反应的本征动力学研究,作者将研究视角从微观动力学理论转向宏观火焰学研究。重点对溴化氢合成火焰形态、操作对火焰形态的影响规律、火焰传播速度、火焰稳定性控制及其发光放热机理进行研究。所得到的一系列结论可以为干法无硫溴化氢原料合成的产业化提供重要的借鉴作用。
In order to solve the engineering and technological difficulties in the source preparation of high-purity electronic-grade hydrogen bromide,the research perspective is shifted from microscopic kinetics to macroscopic flame study in continuation of the previous intrinsic kinetics of hydrogen bromide reaction.In this paper,to focus on the flame morphology of hydrogen bromide synthesis,the influence of operation on flame morphology,flame propagation velocity,flame stability control and its luminescence exothermic mechanism.The series of conclusions can provide important references for the industrialization of dry sulfur-free hydrogen bromide source preparation.
作者
靖宇
马建修
王运东
刘作华
吴祥虎
杜文东
JING Yu;MA Jianxiu;WANG Yundong;LIU Zuohua;WU Xianghu;DU Wendong(Tianjin Linggas Gas Co. , Ltd. , Tianjin 300457, China;The State Key Laboratory of Chemical Engineering,Department of Chemical Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China;School of Chemistry and Chemical Engineering, Chongqing University, Chongqing 400044, China)
出处
《低温与特气》
CAS
2021年第2期6-12,共7页
Low Temperature and Specialty Gases
基金
天津市重点开发计划科技支撑重点项目(19YFZCGX00050)
集成电路工艺用材料生产应用示范平台(TC180A6MR)
2019年天津市重点研发计划科技支撑重点项目(项目编号:19YFZCGX00050)的资助
中芯国际牵头主持的2018年工业转型升级资金(部门预算)——国家新材料生产应用示范平台建设项目之课题3“集成电路工艺用材料生产应用示范平台”(项目编号:TC180A6MR)。
关键词
溴化氢
反应动力学
电子特气
火焰形态
hydrogen bromide
reaction kinetics
electronic specialty gas
flame pattern
