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基于LEDIT的STEP光刻版数据图形自动排版
被引量:
2
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摘要
本文通过C++语言对Ledit软件进行二次开发,采用面向对象的编程方法,实现光刻版版图的快速处理与布局的自动排布。通过生产实践,验证了自动排布程序能够有效缩短设计时间、提高设计效率,加速光掩膜制造的生产周期。
作者
黄翔宇
机构地区
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出处
《电子技术与软件工程》
2021年第7期86-87,共2页
ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING
关键词
光刻板
自动排布
二次开发
C++
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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