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二极管硅芯表面清洗工艺
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摘要
硝酸-氢氟酸体系是半导体器件硅清洗中主要的腐蚀液,在生产中占有重要地位。因此本文通过对腐蚀液的比例进行调整来达到控制腐蚀速度和控制台面形状的目的 .通过研究硅芯的腐蚀速率,表面粗糙程度,纵横腐蚀比例来研究硝酸-氢氟酸-硫酸-冰乙酸的腐蚀体系。通过本工艺可以获得表明光滑平整的芯片表面,同时减少了因为金属腐蚀而带来的漏电流影响。
作者
汪鹏
机构地区
鞍山师范学院
出处
《清洗世界》
CAS
2021年第3期10-11,共2页
Cleaning World
关键词
缓蚀剂
酸洗
二极管
分类号
TM26 [一般工业技术—材料科学与工程]
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王亚东.
硅片酸腐蚀过程中去除速率的控制[J]
.城市建设理论研究(电子版),2017,7(19):108-109.
被引量:1
2
张宏杰.
半导体表面腐蚀工艺方法改进[J]
.半导体技术,2000,25(3):37-37.
被引量:1
3
辛钧启,吴一兵,乜生良.
硅芯清洗工艺的改进[J]
.现代盐化工,2017,44(2):42-43.
被引量:1
4
李斌,高文倩,王少云,赵启兰.
高效率清洗油田过滤器的超声波清洗技术[J]
.石油机械,2004,32(3):35-36.
被引量:4
二级参考文献
4
1
安静,孙铁囤,刘志刚,汪建强,苦史伟.
硅片在HF/HNO_3/H_2O体系中的腐蚀速度[J]
.太阳能学报,2008,29(3):319-323.
被引量:4
2
卫晓冲,张峰,田娜.
硅芯硅棒自动清洗设备的研制[J]
.电子工业专用设备,2011,40(7):28-30.
被引量:1
3
卿前茂,姜莉莉,周鑫,王盼盼.
发动机连杆高压喷淋清洗机的研制[J]
.机械工程与自动化,2012(5):104-105.
被引量:3
4
孟超,胡子卿,常志,时璇,申璐青.
全自动太阳能硅片清洗机的研制[J]
.电子工业专用设备,2013,42(5):16-18.
被引量:2
共引文献
3
1
王雨荷.
应用于油田设备的新型清洗方法[J]
.河南科技,2013,32(12):112-112.
2
安凯媛,刘东,王永仙.
微孔金属滤芯的超声波清洗技术调研[J]
.化学工程与装备,2014(5):160-162.
被引量:3
3
王雨荷.
长输管线原油过滤装置的新型综合清洗[J]
.科技传播,2013,5(6):93-93.
1
田伟,李葆林,张闯,甄亚钦,王鑫国,牛丽颖.
HPLC法同时测定薄荷配方颗粒中6种成分的含量[J]
.河北工业科技,2021,38(3):185-191.
被引量:4
2
张强.
电感耦合等离子体发射光谱法测定铜多金属矿石中金属元素的分析方法研究[J]
.甘肃冶金,2021,43(2):117-119.
被引量:4
3
王越,孙景晓,王现杰,辛丽莎,刘泉秀.
微波消解-电感耦合等离子体原子发射光谱法测定铁矿石中硅和磷[J]
.冶金分析,2021,41(2):44-48.
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4
吕茜茜.
火焰原子吸收光谱法测定铜精矿中钾和钠[J]
.冶金分析,2021,41(3):75-79.
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范丽新,陆青.
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.冶金分析,2021,41(2):60-65.
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