电子工业用超纯水设备技术及应用

超纯水是应用去离子化、反渗透技术、离子交换等技术生产出来的水。针对集成电路生产用水水质要求高的现状,设计开发了超纯水系统,设计采用Make up system+Polisher system组合工艺,制备电阻率> 18MΩ·cm;DO <5 ppb;Particle <1 pcs/ml;Silica <1.5 ppb;TOC <1.5 ppb的超纯水。