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高纯氨生产工艺技术探讨
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摘要
随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大。通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势。
作者
沈钦赐
机构地区
联氨精密气体(厦门)有限公司
出处
《新型工业化》
2020年第10期40-41,共2页
The Journal of New Industrialization
关键词
半导体
LED
高纯氨
7N
生产工艺
分类号
O471.1 [理学—半导体物理]
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新型工业化
2020年 第10期
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