固态Mo源的固体纯化冷却接收及计重装置

专利申请号:CN201820695617公开号:CN208320042U申请日:2018.05.10公开日:2019.01.04申请人:江苏南大光电材料股份有限公司本实用新型涉及固态Mo源的固体纯化冷却接收及计重装置,在手套箱台面板上安装手套箱,手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接,接收罐置于手套箱中,接收罐通过波纹管连接出料管,手套箱的上方设有顶面厢板,顶面厢板悬挂一计重模块,计重模块与接收罐吊接,使接收罐悬浮于手套箱中,计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。不仅实现固态Mo源的纯化冷却接收,还实现接收重量的计量,采用凝华接收,可以控制接收固体颗粒均匀状,满足MoCVD外延生长对于固体Mo源的要求;可直接分装,防止操作过程中可能存在的二次污染,较好解决Mo源的纯度和颗粒度问题;采用计重模块,解决接收量的计量问题。