测量调节阀开度对应工作气体流量的方法

在真空技术领域中,气体流量的控制和测量十分重要,而腐蚀性气体流量在真空环境下的测量方法十分有限。文章为解决工程领域内特殊气体流量控制及粗略测量的问题,设计了一种简单的标定方法和装置,使用无污染无腐蚀性的氮气作为标定用气体,通过质量流量控制器串联调节阀的方法,对调节阀流量特性曲线进行标定,得到标定气体下调节阀开度对应当量孔径的曲线。通过流量公式的推导计算,使调节阀同时具备调节和测量工作气体流量的功能。