集成电路废水分类收集与分质处理工艺分析

半导体行业对我国国民经济发展起着"增速器"作用,随着我国半导体芯片制造厂规模的不断扩大,使用的化学品种类繁杂且用量大,所产生的废水污染因子增多,这就对芯片制造厂的废水处理设施和运行模式提出了更高的要求。本文结合典型集成电路制造工厂的工艺过程、废水来源与污染物种类,阐述半导体制造厂产生的废水应从源头专管分类收集、采用分质分系统处理工艺,废水经过处理后出水水质稳定达标排放,以福建某半导体芯片制造厂为例验证效果。