摘要
金刚石具有优异的物理、化学性质,比如大的载流子迁移率、高的热导率、良好的生物兼容性和化学稳定性、表面终端可修饰性等,这使其在生物电子学领域具有巨大应用前景。未来,生物功能化表面与微电子技术的结合将是新科技的发展趋势。金刚石表面经过修饰可形成稳定的表面终端,如氢终端、氟终端等。刚生长结束的金刚石表面一般呈现氢终端,其表面存在浓度和迁移率分别在1013cm-2和50-200cm 2/Vs的二维空穴气层,因此氢终端金刚石可用于制备场效应晶体管。
出处
《超硬材料工程》
CAS
2021年第2期65-65,共1页
Superhard Material Engineering